Die Nanolithographie ist der Zweig der Nanotechnologie, der sich mit der Untersuchung und Anwendung der Herstellung von Strukturen im Nanometerbereich befasst, d. h. Mustern mit mindestens einer lateralen Dimension zwischen 1 und 100 nm.
Nanolithographie ist die Kunst und Wissenschaft des Ätzens, Schreibens oder Druckens auf mikroskopischer Ebene, wobei die Abmessungen der Zeichen in der Größenordnung von Nanometern (Einheiten von 10 -9 Metern oder Millionstel Millimetern) liegen.
Verwandte Zeitschriften zur Nanolithographie
Nano Research, Scripta Materialia, Nanoscale, Lab on a Chip – Miniaturisierung für Chemie und Biologie